Paleta en voladizo de carburo de silicio
Producto detallado y aplicación.
La paleta / viga en voladizo SiSiC / SiC de carburo de silicio de gran fuerza de carga de obleas es adecuada para un sistema de manipulación y carga automática de robot porque tiene un rendimiento estable, no se deforma a altas temperaturas y una gran fuerza de carga de obleas. Dado que la sección de la paleta en voladizo es estable sin deformación, es posible hacer una oblea de mayor tamaño utilizando tubos de horno existentes. La paleta / viga voladiza SiSiC / SiC de carburo de silicio de gran fuerza de carga de obleas se puede aplicar a LPVCD sobre la base de su coeficiente de expansión térmica similar con el recubrimiento LPVCD, que prolonga en gran medida el ciclo de mantenimiento y limpieza y reduce significativamente los contaminantes.
Parámetros técnicos del carburo de silicio unido por reacción RBSIC:
| Articulo | unidad | datos |
| Temperatura de aplicación | ℃ | 1380 |
| densidad | G / cm3 | > = 3,02 |
| Porosidad abierta | % | <0,1 |
| Escala de dureza de Moh | 13 | |
| Resistencia a la flexión | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Módulo de elasticidad | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Conductividad térmica | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Coeficiente de expansión termal | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Alcalino a prueba de ácido | Excelente |
Características:
una. No se deforma a altas temperaturas y la fuerza de carga de la oblea es grande;
B. Excelente resistencia al choque térmico y larga vida útil;
C. El coeficiente de expansión térmica de la paleta en voladizo es extremadamente pequeño, lo que prolonga en gran medida el ciclo de mantenimiento y limpieza;
y reducir drásticamente los contaminantes
Otros muebles de horno fabricados con cerámica de carburo de silicio.
Además de la paleta en voladizo SiSiC de carburo de silicio sinterizado Reaction para la carga de obleas, también producimos otros muebles de horno que incluyen vigas de carburo de silicio RBSIC / SISIC, tubos de boquilla, tubo de boquilla en espiral, tubo de boquilla de remolino, bloques de carburo de silicio SIC adheridos con óxido / placa de asentamiento y tubos de enfriamiento RBSIC .
Productos de carburo de silicio RBSIC / SISIC resistentes al desgaste
Debido a que nuestro producto de carburo de silicio RBSIC / SISIC tiene las ventajas de una excelente resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y una larga vida útil, también se puede convertir en revestimientos resistentes al desgaste que se pueden instalar fácilmente en tuberías de procesamiento o ciclones.
